实现锑化镓晶圆衬底国产化,这家青岛企业获全国级奖项

近日,国务院国资委公布了第四届中央企业熠星创新创意大赛获奖名单。青岛胶州企业青岛浩瀚全材半导体有限公司的锑化镓晶圆(衬底)项目从5067个参赛项目中脱颖而出,位列第40名,成为青岛市两个获奖项目之一,与中车成型科技(青岛)有限公司的“轻碳”——新一代轨交轻量化复合材料产品产业化项目项目同获大赛二等奖。

浩瀚全材公司落户胶州市九龙街道办事处,虽然企业规模不算大,但经过多年的不懈努力,公司在高端Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体晶圆领域取得了巨大成就,尤其是公司首创了“LEC”拉晶及”CMP”抛光、清洗技术工艺技术,实现了锑化镓晶圆衬底的国产化,产品技术达国际领先水平。

2023年6月份,国务院国资委发布《关于举办第四届中央企业熠星创新创意大赛的通知》,以中央企业为重点,面向全社会,推动科技创新与产业创新深度融合,激发创新动力活力。公司从初赛5067个项目中杀出重围,并最终获得了二等奖的好成绩。

回顾长达18个月的竞赛历程,企业负责人王世峰分析,公司的锑化镓晶圆(衬底)项目之所以能够脱颖而出,主要有两个方面的原因。

首先是公司的产品技术领先。目前,公司已申请发明专利12项,实用新型专利11项,具备年产9.4万片2英寸锑化镓晶圆(衬底)、3600片3英寸锑化镓晶圆(衬底)、2400片4英寸锑化镓晶圆(衬底)的生产能力。公司产品的位错密度、弯曲度、翘曲度、表面平整度等参数,远超国内同类企业。

其次是公司产品的市场前景广阔。用锑化镓晶圆(衬底)加工制作的探测芯片在红外成像、制导方面具有显著优势。目前,美国以锑化镓为衬底的红外探测器市场约占整个红外探测器市场的50%以上,而国内只占3%。据此,王世锋推测,3年内国内市场占比有望提升到20%左右。与此相佐证的是,当2022年10月份公司第一批锑化镓晶圆(衬底)产品刚推出时,只有3家客户,目前公司客户已达30多家。

除去此次参赛的锑化镓晶圆(衬底)产品,浩瀚全材公司还将目光瞄准了更多的高端Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体晶圆(衬底)领域。目前,公司新开发的砷化铟、锑化铟晶圆衬底已处于小试阶段,碲锌镉晶圆衬底处于送样阶段,半绝缘砷化镓、磷化铟晶圆衬底产品的研发也已在今年的计划中。(记者 王萌 通讯员 刘民军)

责任编辑:杨小萌

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